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Wuxi Special Ceramic Electrical Co.,Ltd
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High-Purity Al2O3 Ceramic Susceptor Plates Semiconductor Grade for Wafer Processing Equipment Parts

Detalhes do produto

Lugar de origem: Jiangsu, China

Marca: Wuxi Special Ceramic

Certificação: ISO 9001:2015

Número do modelo: WS-AL-HP02

Termos de pagamento e envio

Quantidade de ordem mínima: 10 peças

Preço: US$10~US$200/Piece

Detalhes da embalagem: Caixas de exportação com inserções de espuma, paletizadas para frete marítimo ou aéreo

Tempo de entrega: 15-30 dias após a confirmação

Termos de pagamento: T/T, L/C, Western Union

Habilidade da fonte: 100.000 peças por mês

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Destacar:

High Purity Alumina Susceptor

,

Semiconductor Grade Ceramic Plate

,

Wafer Processing Equipment Part

Conteúdo de alumina:
99,5% Al2O3
Grau de Pureza:
Grau de semicondutor
Densidade:
3,92g/cm3
Rugosidade superficial:
Ra 0,1-0,4 hum
Planicidade:
0,02 milímetros
Cor:
Marfim
Aplicativo:
equipamento de processamento de wafers
temperatura máxima do uso:
1700 graus C
Recurso:
Baixa contaminação iónica
Conteúdo de alumina:
99,5% Al2O3
Grau de Pureza:
Grau de semicondutor
Densidade:
3,92g/cm3
Rugosidade superficial:
Ra 0,1-0,4 hum
Planicidade:
0,02 milímetros
Cor:
Marfim
Aplicativo:
equipamento de processamento de wafers
temperatura máxima do uso:
1700 graus C
Recurso:
Baixa contaminação iónica
High-Purity Al2O3 Ceramic Susceptor Plates Semiconductor Grade for Wafer Processing Equipment Parts
Semiconductor wafer processing demands materials that neither shed particles nor leach metallic contamination into the process environment. Our High-Purity Al2O3 Ceramic Susceptor Plates are manufactured from 99.5% alpha alumina with tightly controlled trace element levels, then fired in a clean production line to produce a fully dense, pore-free body that stays chemically silent even under plasma and high bias conditions. Each plate is diamond ground and lapped to a flatness